Effects of gap size, temperature and pumping pressure on the fluid dynamics and chemical kinetics of in-line spatial atomic layer deposition of Al2O3
['Dongqing Pan', 'Tien-Chien Jen', 'Chris Yuan']
/
International Journal of Heat and Mass Transfer
/ Vol. 96
まだレビューは投稿されていません。あなたが最初のレビューを書きませんか？