Co-sputtering of \(\hbox {Al}_{1-x}\hbox {Sc}_{x}\hbox {N}\) thin films on Pt(111): a characterization by Raman and IR spectroscopies
['Dmytro Solonenko', 'Chuanqi Lan', 'Dietrich R. T. Zahn']
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Journal of Materials Science
/ Vol. 55
/ No. 36
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