Effect of fabrication process on fracture strength and fatigue life of micromirrors made from single-crystal silicon
['Yuanlin Xia', 'Makoto Suzuki', 'Peidong Xue', 'Yoshikazu Hirai', 'Toshiyuki Tsuchiya']
/
International Journal of Fatigue
/ Vol. 162
まだレビューは投稿されていません。あなたが最初のレビューを書きませんか？