ステンレス鋼のスパッタエッチングにより形成した多機能微細突起物の圧縮強度におよぼすプラズマ窒化の影響
['中佐 啓治郎', '山本 旭宏', '王 栄光', '李木 経孝']
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日本機械学会論文集
/ Vol. 82
/ No. 838
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