大径シリコンウエハ加工用ロータリ研削盤の開発（第１報：水静圧ロータリテーブルの基本特性の検討）
['楠山 純平', '本多 歩', '北嶋 孝之', '岡畑 豪', '由井 明紀', '伊東 利洋', 'Slocum A. H.']
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日本機械学会論文集
/ Vol. 82
/ No. 842
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