大径シリコンウエハ加工用ロータリ研削盤の開発（第２報：切込み機構内蔵砥石スピンドルの基本特性の検討）
['楠山 純平', '本多 歩', '岩橋 伸太郎', '北嶋 孝之', '由井 明紀', '伊東 利洋', 'Lu X.', 'Slocum A. H.']
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日本機械学会論文集
/ Vol. 83
/ No. 852
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