空気圧で浮上する平板に発生する自励振動の特性と発生条件（チャンバ体積とスリット幅が自励振動の発生条件に及ぼす影響）
['武田 真和', '渡辺 昌宏']
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日本機械学会論文集
/ Vol. 84
/ No. 858
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