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超硬合金製マイクロレンズアレイ金型の研削加工(多結晶ダイヤモンド製研削工具と金型の表面粗さ)

['仙波 卓弥', '天本 祥文', '角谷 均']   /   日本機械学会論文集 / Vol. 87 / No. 901
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