ナノ多結晶ダイヤモンド製研削工具を使った超硬合金製マイクロディンプルアレイ金型の超精密研削加工
['仙波 卓弥', '天本 祥文', '角谷 均']
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日本機械学会論文集
/ Vol. 88
/ No. 912
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