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ピコ秒パルスレーザを使った超硬合金に対する精密微細加工(ゼロカットを併用した3次元微細加工法)

['仙波 卓弥', '天本 祥文', '三浦 太久真']   /   日本機械学会論文集 / Vol. 89 / No. 926
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