イオンビームアシスト蒸着法によるTiN薄膜の機械的特性と超微粒WC-Co超硬合金への密着性
['佐藤 颯哉', '鈴木 庸久', '藤井 達也', '野村 光由', '関根 崇', '菅原 靖', '杉山 重彰']
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日本機械学会論文集
/ Vol. 89
/ No. 928
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