ミストCVDで成膜した炭素ドープイットリウムチタナート（YTiOx）薄膜の構造解析および電気特性
['吾妻 正道', '池田 守', '宮本 翼', '浅井 雅史', '鐘ケ江 一孝', '西中 浩之']
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材料
/ Vol. 75
/ No. 3
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