水素化アモルファスシリコンの表面酸化起因真性応力の分子動力学解析
['田村 陽平', '高本 聡', '今泉 俊介', '齋藤 玲子', '伊藤 祥代', '波田野 明日可', '泉 聡志']
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材料
/ Vol. 66
/ No. 12
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