溶液塗布熱分解法で作製したHf0.5Zr0.5O2薄膜の特性評価
['矢野 満明', '井上 泰一', '大田 宗司', '河本 泰輝', '広藤 裕一', '小山 政俊', '小池 一歩']
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材料
/ Vol. 68
/ No. 10
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