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ミストCVD成長した非晶質Ga2O3薄膜のアニール処理による結晶構造と紫外線応答特性への影響

['小山 政俊', '宮嵜 愛実', '山崎 伊織', '田中 悠馬', '西川 未咲', '小池 一歩', '藤井 彰彦', '前元 利彦']   /   材料 / Vol. 74 / No. 11
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