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プラズマCVD法で形成した窒素ドープDLC膜の硬さおよび残留応力に及ぼす窒素含有率の影響

['人見 元規', '日比野 友哉', '中村 守正', '松岡 敬']   /   材料 / Vol. 74 / No. 7
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