Bubble Effects on Manufacturing of Silicon Nanowires by Metal-Assisted Chemical Etching
['Pee-Yew Lee', 'Chun-Jen Weng', 'Hung Ji Huang', 'Li-Yan Wu', 'Guo-Hao Lu', 'Chao-Feng Liu', 'Cheng-You Chen', 'Ting-Yu Li', 'Yung-Sheng Lin']
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Journal of Manufacturing Science and Engineering
/ Vol. 145
/ No. 9
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