Ellipsometry-Based Quantification of Catalyst–Support Diffusion Kinetics in Rapid Thermal Chemical Vapor Deposition
['Golnaz Tomaraei', 'Jaegeun Lee', 'Seung Min Kim', 'Moataz Abdulhafez', 'Mostafa Bedewy']
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Journal of Manufacturing Science and Engineering
/ Vol. 148
/ No. 8
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