Abnormal redeposition of silicate from Si3N4 etching onto SiO2 surfaces in flash memory manufacturing
['Kai-Wen Teng', 'Sheng-Hung Tu', 'Heng-Kwong Tsao']
/
Journal of Materials Science
/ Vol. 55
/ No. 3
まだレビューは投稿されていません。あなたが最初のレビューを書きませんか？