A high growth rate process of ALD CeOx with amidinato-cerium [(N-iPr-AMD)3Ce] and O3 as precursors
['Liyong Du', 'Keyan Wang', 'Yuqiang Ding']
/
Journal of Materials Science
/ Vol. 55
/ No. 13
まだレビューは投稿されていません。あなたが最初のレビューを書きませんか？