Controlled Growth of Conductive AlN Thin Films by Plasma-Assisted Reactive Evaporation
['M. Alizadeh', 'B. T. Goh', 'S. A. Rahman']
/
Metallurgical and Materials Transactions A
/ Vol. 48
/ No. 7
まだレビューは投稿されていません。あなたが最初のレビューを書きませんか？