マイクロフォンアレイを用いた枚葉式半導体洗浄装置内に形成される大規模渦構造の検出
['河内 俊憲', '三好 勇輝', '中野 裕介', '永田 靖典', '柳瀬 眞一郎']
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日本機械学会論文集
/ Vol. 83
/ No. 845
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