ポリシルセスキオキサンゲート絶縁膜の表面処理によるペンタセン薄膜トランジスタのキャリア移動度向上
['道浦 大祐', '中原 佳夫', '宇野 和行', '田中 一郎']
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材料
/ Vol. 65
/ No. 9
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