ポリシルセスキオキサンゲート絶縁膜の表面平坦化によるペンタセン薄膜トランジスタのキャリア移動度の向上
['道浦 大祐', '中原 佳夫', '宇野 和行', '田中 一郎']
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材料
/ Vol. 66
/ No. 9
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